Опции металлизации

Опции алюминиевой металлизации
 

 

Толщина

(мкм)

Имя слоя

Опции металлизации

Опция

 

 

1

2

3

4

Общее количество слоев металлизации

 

3

4

5

6

MIM конденсатор

 

QT

x

x

x

x

Верхний уровень металлизации

1.33

MT

x

x

x

x

1x трассировочная металлизация

0.5

M5_1Х

 

 

 

x

0.5

M4_1Х

 

 

x

x

0.5

M3_1Х

 

x

x

x

0.5

M2_1Х

x

x

x

x

0.5

M1_1Х

x

x

x

x


Поперечное сечение структуры (алюминиевая металлизация)
Опции медной металлизации

 

Толщина

(мкм)

Имя

слоя

Опции металлизации

Опция

 

 

5

6

7

8

9

10

Общее количество слоев металлизации

 

3

4

5

6

5

5

MIM конденсатор

 

QT, HT

x

x

x

x

x

x

Верхний уровень металлизации

4.10

MTop2

 

 

 

 

 

x

Верхний уровень металлизации

1.33

MTop1

x

x

x

x

x

 

2x трассировочная металлизация

0.5

M2_2Х

 

 

 

 

x

x

0.5

M1_2Х

x

x

x

x

x

x

1x трассировочная металлизация

0.5

M5_1Х

 

 

 

x

 

 

0.5

M4_1Х

 

 

x

x

 

 

0.5

M3_1Х

 

x

x

x

 

 

0.5

M2_1Х

x

x

x

x

x

x

0.5

M1_1Х

x

x

x

x

x

x


Поперечное сечение структуры (медная металлизация)