Нормы проектирования

 

Шаг

Значение (мкм)

N-карман

1.52

Диффузия

0.70

Поликремний (область)

0.60

Поликремний (NFET затвор)

0.60

Поликремний (PFET затвор)

0.60

(NFET или PFET) затвор с CA (тот же RX)

0.96

(NFET или PFET) затвор с CA (другой RX)

1.92

Контакт

0.56

PC с CA

0.92

RX с CA

0.96

Mx_2B

0.56

Vx_2B (та же цепь)

0.56

Vx_2B (другая цепь)

0.64

M1_4B, M2_4B

1.12

V0_4B, V1_4B (та же цепь)

1.12

V0_4B, V1_4B (другая цепь)

1.28

LB

4.60

VV

7.00

LD

4.80

RX n + переход к RX p + место соединения

1.00